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      電子工業超純水設備系統概述

      文章來源:未知   發布時間:2020-08-17 08:15   點擊數:   【

      隨著電子工業的發展,在芯片的生產加工過程中,對于水質的要求也越來越高。為了保證生產出超大規模的集成電路,除高純原材料、高純氣體、高純化學藥品外,超純水也是其中最關鍵的因素之一。

       

         預處理部分主要包括:沙濾、活性碳塔(有的廠商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池);一次純水處理部分主要包括:陰陽離子交換塔、脫氣塔(DG)、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透;超純水處理部分主要包括:MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)及終端過濾器。

        考慮到在向工藝設備輸送高純水過程中,輸水管道會對水質再次造成污染,因而在FAB內一般都設立拋光循環系統。拋光循環系統主要以MB為核心,再加上超濾設備(UF),以除去在向工藝生產線輸送純水的過程中,管網溶入水中的雜質。

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